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先進(jìn)制程采用再生水惹質(zhì)疑 臺(tái)積電的解釋能讓人滿意嗎

2018-04-26

  臺(tái)積電南科先進(jìn)制程新廠,首度將再生水運(yùn)用工業(yè)生產(chǎn)引發(fā)疑慮,國(guó)發(fā)會(huì)主委陳美伶表示,已借由督導(dǎo)平臺(tái)關(guān)注,為配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求,再生水標(biāo)準(zhǔn)符合南科相關(guān)先進(jìn)制程所需。

  陳美伶同時(shí)強(qiáng)調(diào),一旦有異常情況會(huì)啟動(dòng)緊急供水措施,對(duì)于制程及良率將有更高保障。

  臺(tái)積電晶圓18廠落腳南科,政府承諾會(huì)穩(wěn)定供應(yīng)水電,提出運(yùn)用再生水方案,由于目前半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)都是用純水,臺(tái)積電晶圓18廠使用再生水,市場(chǎng)關(guān)注是否會(huì)影響晶圓廠的生產(chǎn)品質(zhì)與良率。

  國(guó)家發(fā)展委員會(huì)主委陳美伶接受中央社記者訪問時(shí)表示,各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)用水需配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求,對(duì)于南科先進(jìn)制程用水需求及標(biāo)準(zhǔn),討論使用再生水時(shí)即與用水端商議過供水品質(zhì)及標(biāo)準(zhǔn),以兩段式RO(逆滲透)作為供水規(guī)劃,相關(guān)水質(zhì)應(yīng)可符合南科相關(guān)先進(jìn)制程所需。

  陳美伶解釋,去年就已成立的“南科先進(jìn)制程環(huán)境建置案進(jìn)度督導(dǎo)平臺(tái)”,是針對(duì)整個(gè)臺(tái)南科學(xué)園區(qū)的先進(jìn)制程成立,跨中央相關(guān)部會(huì)及臺(tái)南市政府,主要是解決影響產(chǎn)業(yè)經(jīng)營(yíng)的關(guān)鍵問題。

  陳美伶說,為協(xié)助業(yè)者排除投資障礙,行政院長(zhǎng)賴清德主持多次加速投資臺(tái)灣專案會(huì)議,就是為解決目前產(chǎn)業(yè)遇到的問題,除了南科先進(jìn)制程,目前也針對(duì)中科園區(qū)議題解決處理中。

  此外,南科管理局副局長(zhǎng)蘇振綱受訪時(shí)指出,南科先進(jìn)制程不只臺(tái)積電部分,也有許多廠商需要使用到再生水,在會(huì)議中也針對(duì)這項(xiàng)議題協(xié)調(diào)處理,確保廠商使用需求。

  蘇振綱說,針對(duì)廠商遇到的產(chǎn)業(yè)需求,從去年下半年就陸續(xù)召開會(huì)議并追蹤進(jìn)度,因?yàn)橄冗M(jìn)制程廠商都是臺(tái)灣重大投資,除搜集廠商需求細(xì)節(jié),也需要掌握進(jìn)度,與中央部會(huì)與地方政府間進(jìn)行協(xié)調(diào)。

  臺(tái)積電5納米新廠晶圓18廠,是全球第一家進(jìn)入5納米制程的晶圓廠,資本投資新臺(tái)幣5000億元,計(jì)劃在2020年投入生產(chǎn)。

  臺(tái)積電3納米、5納米廠先后確定落腳南部科學(xué)工業(yè)園區(qū),面對(duì)水、電需求,臺(tái)南市政府先在去年4月啟用曾文凈水場(chǎng),每天增加2萬(wàn)噸供水,也將永康污水處理廠升級(jí)再生水廠,預(yù)計(jì)2020年,每天可供應(yīng)1.5萬(wàn)噸工業(yè)用水。


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