幾番折騰、歷經(jīng)三度環(huán)評卡關，臺積電的中科擴廠案終于在去年2月有條件通過，然而，因原開發(fā)規(guī)劃可能使用或排放的化學物質品項變更，環(huán)境差異分析報告需重新送件審議，在11月初步闖關成功后，終于在28日環(huán)評委員會通過，宣告擴廠邁開大步，未來可好好沖刺10納米量產(chǎn)。

攸關臺積電10納米、7納米制程的中科園區(qū)（原大肚山彈藥分庫）開發(fā)案，經(jīng)四度環(huán)評闖關，才在2015年2月，以中科一、二期健康風險評估也納入中科五期評估下，有條件通過。然而，廠房運作將使用或衍生的化學物質項目與數(shù)量擬有所變更，臺積電又再重新送件審議，今年11月3日環(huán)保署專案小組初審通過，再度送交環(huán)評大會，在28日第306次環(huán)評大會終于通過此案，宣告塵埃落定。

環(huán)差修正通過，據(jù)中國臺灣地區(qū)環(huán)境信息協(xié)會環(huán)境資訊中心報導，環(huán)評大會也提出附帶要求，中科管理局需定期、不定期查核臺積電化學品之使用，臺積電也需公開空氣、水、廢棄物等排污情形。臺積電資深處長莊子壽指出，環(huán)差案通過，也讓目前試運轉的臺積電10納米吃下定心丸，臺積電將開始拚量產(chǎn)，并表示希望2017年有好消息。

中科園區(qū)（原大肚山彈藥分庫）開發(fā)案開發(fā)規(guī)模在53．08公頃，臺積電申請使用面積約32公頃，預計此地晶圓15廠P5、P6廠將于2017年完工，除了導入10納米量產(chǎn)，7納米制程官方預計也會安排在此。

臺積電南科高雄園區(qū)擴建環(huán)差變更案也在今年11月底通過環(huán)差初審，該擴建案預計斥資5，000億新臺幣建新廠，于明年動工，發(fā)展5納米與3納米制程。