《電子技術(shù)應用》
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立足自主可控 做強集成電路制造業(yè)

2016-07-20

  在我們按照《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》,全力推進華虹集團集成電路制造業(yè)新發(fā)展的進程中,習近平總書記在網(wǎng)絡安全和信息化工作座談會上的講話,為我們當前和今后一段時期立足自主可控做強集成電路制造業(yè)進一步指明了方向,提供了強大的方法論。

  著力解決“缺芯少魂”

  習總書記在講話中明確指出了我們當前信息化發(fā)展中最大的差距在于核心技術(shù),要求著力解決“缺芯少魂”的問題。集成電路是信息化時代人類大腦的延伸,因而也是信息產(chǎn)業(yè)的核心。在我國電子信息產(chǎn)業(yè)從制造大國穩(wěn)步邁向制造強國的進程中,集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展程度對其具有決定性的影響。

  20年來,華虹集團在中央和上海的關(guān)心支持下,從引進技術(shù)建設運營國內(nèi)第一條8英寸極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線起步,在技術(shù)上按照引進消化吸收再創(chuàng)新,在規(guī)模上按照扎實穩(wěn)健的產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點,逐步建立了8英寸和12英寸兩個制造平臺,以及一個國家級的集成電路研發(fā)中心。

  由上海華虹宏力半導體制造有限公司承擔的8英寸制造平臺目前有3條生產(chǎn)線,總產(chǎn)能達到每月15萬片,量產(chǎn)工藝達到了8英寸的極限90納米,每月在產(chǎn)芯片超過500種,并承擔了包括身份證芯片在內(nèi)的一系列事關(guān)國計民生的重點芯片生產(chǎn)任務?;谪S富而成熟的工藝平臺和精細化的運營管理,企業(yè)從“十二五”以來實現(xiàn)每年盈利。

  由上海華力微電子有限公司承擔的12英寸制造平臺,作為國家“909”工程升級改造項目,生產(chǎn)線于2010年開始建設,2015年竣工驗收,總產(chǎn)能達每月3.5萬片。該生產(chǎn)線直接從55納米量產(chǎn)工藝起步,28納米工藝將于近期實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。

  華虹集團下屬的上海集成電路研發(fā)中心于2007年被國家發(fā)改委授予國家級研發(fā)中心,目前已進入成套工藝技術(shù)輸出期。這一企業(yè)化運作的中心建成了按量產(chǎn)標準配置的3200平方米凈化廠房和覆蓋12英寸主要工藝模塊的中試線,在先導性工藝研發(fā)、國產(chǎn)裝備和材料中試驗證、校企合作的協(xié)同創(chuàng)新中心建設,以及上海市集成電路高技能人才實訓基地等方面開展了卓有成效的工作。

  支持國產(chǎn)設備和原材料

  自主可控是華虹集團始終不懈追求的目標。到今年年底,華虹累計申請的集成電路制造專利有望突破1萬項。

  同時,我們把支持國產(chǎn)設備和原材料作為生產(chǎn)線的重要使命。華虹集團較早建立了針對國產(chǎn)設備和原材料的評估驗證采購機制。8英寸和12英寸兩個制造平臺均為使用國產(chǎn)設備和原材料最多的企業(yè)。其中,在12英寸產(chǎn)線中國產(chǎn)設備達到7種13臺,國產(chǎn)材料超過了10種。

  “十三五”期間,華虹集團將按照《國家集成電路發(fā)展推進綱要》,繼續(xù)堅持自主可控,做大集成電路制造規(guī)模,持續(xù)提升工藝技術(shù)水平。到2020年,華虹集團的集成電路制造能力將覆蓋0.5微米到14納米各工藝技術(shù)平臺。在我國自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)體系建設中發(fā)揮好主力軍作用。主要戰(zhàn)略方向是:8英寸制造平臺將立足“More than Moore”(超越摩爾定律),在擴大規(guī)模的同時進一步強化一系列特色工藝;12英寸制造平臺將繼續(xù)追趕摩爾定律,在充分發(fā)揮既有產(chǎn)線產(chǎn)能的同時,新建一條月產(chǎn)4萬片、工藝能力為28~14納米的12英寸生產(chǎn)線,并力爭在“十三五”期末實現(xiàn)FinFET工藝的量產(chǎn);集成電路研發(fā)中心將全面建成覆蓋主要工藝模塊的12英寸先進工藝引導線,成為具有國際影響力的集成電路研發(fā)機構(gòu)。

  總書記指出“核心技術(shù)要取得突破,就要有決心、恒心、重心”。對于華虹集團這一以集成電路制造為主業(yè)的國有產(chǎn)業(yè)集團來說,國家在集成電路產(chǎn)業(yè)上的“痛點”就是我們主攻的方向。建設我國自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系是我們責無旁貸的歷史責任。華虹集團將秉承“知難而進,奮發(fā)圖強”的企業(yè)精神,下定攻堅克難的決心、保持戒驕戒躁的恒心、聚焦工藝技術(shù)能級提升的重心,更加努力地承擔起國家隊的應有職責。


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