摘 要： 提出了一種基于LTCC級(jí)聯(lián)技術(shù)的邊帶陡峭高阻帶抑制多級(jí)帶通濾波器的實(shí)現(xiàn)方法。該濾波器電路由兩個(gè)諧振部分級(jí)聯(lián)而成，每個(gè)部分均由電感耦合的四階諧振腔組成。在一般抽頭式梳狀線濾波器設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，引入了交叉耦合，形成傳輸零點(diǎn)，并結(jié)合電路仿真以及三維電磁場(chǎng)仿真，輔之以DOE(Design Of Experiment)的設(shè)計(jì)方法，設(shè)計(jì)出一種尺寸小、頻率選擇性好、邊帶陡峭、阻帶抑制高的濾波器。實(shí)際測(cè)試結(jié)果與仿真結(jié)果吻合較好，中心頻率為3.25 GHz，其1 dB帶寬為300 MHz，在1 GHz~2.86 GHz頻率上的衰減均優(yōu)于60 dB，在3.64 GHz~3.84 GHz頻率上的衰減均優(yōu)于80 dB，在4.08 GHz~5.8GHz頻率上的衰減均優(yōu)于60 dB，體積僅為6.1 mm×2.5 mm×1.5 mm。

　　關(guān)鍵詞： 高抑制；LTCC；帶通濾波器；傳輸零點(diǎn)

0 引言

　　由于集成電路系統(tǒng)的復(fù)雜度升高，高抑制濾波器的微型化已經(jīng)成為目前微波電路系統(tǒng)的主要研究方向。在越來(lái)越復(fù)雜的電路系統(tǒng)中，很多微波元器件需要有良好的電性能以及很小的物理尺寸，并且其工作穩(wěn)定性也需要非常好。目前，具有高阻帶抑制特性的微型化LTCC濾波器已經(jīng)成為微波通信系統(tǒng)的研究重點(diǎn) [1]。在生產(chǎn)制造方面，現(xiàn)階段的LTCC技術(shù)具有較大的優(yōu)勢(shì)，它可以通過(guò)三維立體集成的方式進(jìn)行加工制造，從而在微波器件的加工上運(yùn)用非常廣泛?；贚TCC的三維立體集成技術(shù)可以用于實(shí)現(xiàn)具有高阻帶抑制的LTCC微型濾波器[2]。

　　帶通濾波器在無(wú)線通信以及衛(wèi)星通信系統(tǒng)中起著重要作用[3]。在這些系統(tǒng)中，需要用到多個(gè)相近頻率的濾波器，每個(gè)濾波器相互之間會(huì)產(chǎn)生串?dāng)_。為了減小這種相互串?dāng)_，需要濾波器各自的阻帶衰減非常高而且矩形系數(shù)非常好，并且需要濾波器的尺寸盡可能小，尤其是在一些國(guó)防尖端設(shè)備中，系統(tǒng)對(duì)濾波器性能和尺寸的要求越來(lái)越高[4-5]。

　　為了實(shí)現(xiàn)每個(gè)濾波器阻帶內(nèi)的高抑制特性，一般可以采用三種方法：一是用多個(gè)濾波器串接，二是增加濾波器內(nèi)部的級(jí)數(shù)，三是在帶外增加傳輸零點(diǎn)。然而，如果采用濾波器串接的方式，串聯(lián)之后必會(huì)導(dǎo)致濾波器件整體尺寸擴(kuò)大，這樣將不利于系統(tǒng)的小型化，還會(huì)增加整個(gè)濾波器件的傳輸損耗，并且濾波器串接之后由于相互干擾和匹配等問(wèn)題，導(dǎo)致整體濾波特性無(wú)法保證，很可能需要重新設(shè)計(jì)。而直接增加級(jí)數(shù)，例如八級(jí)濾波器，各諧振級(jí)之間的耦合參數(shù)很多，使得調(diào)試難度非常大，而調(diào)試四級(jí)濾波器的難度相對(duì)容易許多。所以在實(shí)現(xiàn)級(jí)聯(lián)過(guò)程中，可以分為兩個(gè)部分進(jìn)行設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)單個(gè)部分時(shí)需要進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，盡量保證尺寸小以及傳輸損耗小，從而在級(jí)聯(lián)過(guò)后，使得濾波器尺寸大幅度較小。通過(guò)交叉耦理論可以很好地實(shí)現(xiàn)在濾波器的設(shè)計(jì)中產(chǎn)生傳輸零點(diǎn) [6-8]，此方法可以使濾波器通帶內(nèi)線性相位一致性高，也可以很好地改善信號(hào)在傳輸中產(chǎn)生的相位失真，而且可以使濾波器在阻帶內(nèi)的抑制非常高。

　　本文提出了一種通過(guò)設(shè)計(jì)一個(gè)四諧振級(jí)梳狀線帶通濾波器，運(yùn)用內(nèi)部級(jí)聯(lián)的方式實(shí)現(xiàn)八級(jí)濾波器的方法。

1 四級(jí)濾波器電路設(shè)計(jì)

　　1.1 四級(jí)濾波器電路原理分析

　　圖1是由四級(jí)梳狀線結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的帶通濾波器的電路結(jié)構(gòu)圖，該濾波器結(jié)構(gòu)是基于四階耦合諧振帶通濾波器的原型來(lái)實(shí)現(xiàn)的[9]。

　　式中的中心頻率f0由帶狀線的長(zhǎng)度l和帶狀線寬度w決定，帶狀線兩接地板之間的距離b和相鄰兩根帶狀線間距d決定濾波器的帶寬，通過(guò)改變這些參數(shù)可以控制濾波器的各項(xiàng)指標(biāo)。

　　1.2 交叉耦合傳輸零點(diǎn)分析

　　傳輸零點(diǎn)可以由不同方法來(lái)實(shí)現(xiàn)，其中微波信號(hào)通過(guò)不同的傳輸通路形成反相，可以產(chǎn)生傳輸零點(diǎn) [10-12]。

　　圖2是四級(jí)帶通濾波器交叉耦合相位圖。根據(jù)交叉耦合理論可知，微波信號(hào)通過(guò)磁場(chǎng)耦合產(chǎn)生的相移為-90°，通過(guò)電場(chǎng)耦合產(chǎn)生的相移為+90°，在諧振頻率處的信號(hào)通過(guò)諧振器時(shí)不產(chǎn)生相位變化，即沒(méi)有相移，低于諧振頻率的微波信號(hào)產(chǎn)生的相移為+90°，高于諧振頻率的微波信號(hào)產(chǎn)生的相移為-90°。根據(jù)理論分析并且結(jié)合圖2計(jì)算相位：低于諧振頻率的微波信號(hào)，主路信號(hào)產(chǎn)生-90°相位，交叉路信號(hào)產(chǎn)生+90°相位，主路信號(hào)和交叉路信號(hào)相互抵消，從而產(chǎn)生傳輸零點(diǎn)。對(duì)于高于諧振頻率傳輸信號(hào)，主路信號(hào)產(chǎn)生-90°相位，交叉路信號(hào)產(chǎn)生+90°相位，主路信號(hào)和交叉路信號(hào)也相互抵消，從而產(chǎn)生傳輸零點(diǎn)，所以此結(jié)構(gòu)在濾波器的通帶兩個(gè)邊帶均能產(chǎn)生相應(yīng)的傳輸零點(diǎn)。

2 濾波器級(jí)聯(lián)

　　圖3是兩個(gè)部分諧振單元級(jí)聯(lián)的電路原理圖。該濾波器的實(shí)現(xiàn)是基于兩個(gè)四階耦合諧振單元通過(guò)一段串聯(lián)耦合電感進(jìn)行級(jí)聯(lián)的八級(jí)梳狀線帶通濾波器。

　　圖3中，串聯(lián)耦合電感L45兩邊的兩部分四階耦合諧振單元相同，第四諧振單元與第五諧振單元之間的串聯(lián)耦合電感L45起到連接兩部分諧振單元的作用。通過(guò)兩部分四階耦合諧振單元級(jí)聯(lián)實(shí)現(xiàn)八級(jí)濾波器的濾波特性。

3 濾波器的三維實(shí)現(xiàn)

　　3.1 級(jí)聯(lián)濾波器的設(shè)計(jì)流程

　?、鸥鶕?jù)要求的各項(xiàng)指標(biāo)，選定合適的濾波器電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)[13-14]；

　?、聘鶕?jù)帶狀線計(jì)算公式和HFSS軟件中的本征模求解方式，算出每一個(gè)諧振單元的大??；

　?、鞘褂肏FSS的雙模提取法，確定各個(gè)諧振級(jí)之間的耦合系數(shù)，計(jì)算出各個(gè)諧振級(jí)之間的距離；

　?、冗\(yùn)用交叉耦合理論，精確控制結(jié)構(gòu)中各個(gè)零點(diǎn)的位置，使濾波器的帶外抑制達(dá)到指標(biāo)要求。在HFSS軟件中進(jìn)行三維仿真，得到性能較好的四級(jí)濾波器模型；

　?、稍谌S模型中運(yùn)用串聯(lián)耦合電感將設(shè)計(jì)好的兩部分相同的四階耦合諧振單元進(jìn)行級(jí)聯(lián)，運(yùn)用DOE(Design Of Experiment)的方法對(duì)模型的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行最后調(diào)試，得到最終性能優(yōu)異的八級(jí)級(jí)聯(lián)濾波器的三維模型；

　　⑹提取八級(jí)濾波器的仿真數(shù)據(jù)，用LTCC工藝線進(jìn)行加工，加工出的樣品用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測(cè)試，并將測(cè)試結(jié)果與仿真曲線進(jìn)行比較。

　　3.2 四級(jí)濾波器與八級(jí)濾波器的三維結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

　　圖4是所設(shè)計(jì)的四級(jí)濾波器的三維立體結(jié)構(gòu)示意圖。濾波器的設(shè)計(jì)采用陶瓷介質(zhì)，其介電常數(shù)為27，正切損耗角為0.002。濾波器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包括5層金屬圖形，其中第一層和第五層金屬圖形為接地板層。第二層金屬圖形為電容Cr層，第三層金屬圖形為電感電容LC層，第四層為交叉耦合電容層，通過(guò)Z字型交叉耦合帶狀線結(jié)構(gòu)在第一級(jí)和第四級(jí)之間形成交叉耦合電容C14。

　　圖5是所設(shè)計(jì)的八級(jí)級(jí)聯(lián)LTCC濾波器三維立體結(jié)構(gòu)示意圖。該濾波器左右兩部分結(jié)構(gòu)與四級(jí)基本型LTCC濾波器基本相同，兩部分四級(jí)諧振單元通過(guò)串聯(lián)耦合電感L45級(jí)聯(lián)。

4 模型仿真與測(cè)試結(jié)果比較

　　在完成整體模型后，通過(guò)DOE方法對(duì)整體模型進(jìn)行微調(diào)，使其仿真性能滿足指標(biāo)要求并留有余量，然后將設(shè)計(jì)完成的濾波器模型在LTCC生產(chǎn)線上進(jìn)行加工制造。

　　圖6是該濾波器最終的仿真曲線與實(shí)物測(cè)試曲線的比較。從圖6可以看出，三維仿真曲線和測(cè)試曲線的一致性很好。從測(cè)試結(jié)果可以看出，在通帶3.1 GHz~3.4 GHz內(nèi)插損均小于3.5 dB。低阻帶1 GHz~2.86 GHz內(nèi)的衰減都優(yōu)于60 dB。高阻帶3.64 GHz~3.84 GHz內(nèi)的衰減均優(yōu)于80 dB，4.08 GHz~5.8 GHz內(nèi)的衰減均優(yōu)于60 dB。

　　這種具有邊帶陡峭高阻帶抑制的LTCC級(jí)聯(lián)帶通濾波器的尺寸僅為：6.1 mm×2.5 mm×1.5 mm。

5 結(jié)論

　　本文基于四階耦合諧振帶通濾波器原型，運(yùn)用級(jí)聯(lián)技術(shù)設(shè)計(jì)了一款具有邊帶陡峭高阻帶抑制的LTCC級(jí)聯(lián)帶通濾波器。在四級(jí)帶通濾波器的基礎(chǔ)上，通過(guò)串聯(lián)耦合電感對(duì)兩部分四階耦合諧振單元進(jìn)行級(jí)聯(lián)，并引入交叉耦合，使得高頻端和低頻端阻帶各引入相應(yīng)的傳輸零點(diǎn)，滿足了濾波器阻帶高抑制的要求。利用三維仿真軟件HFSS搭建相應(yīng)的三維模型。生產(chǎn)出的濾波器測(cè)試曲線與三維仿真曲線吻合很好。

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