當(dāng)前隨著科技革命和產(chǎn)業(yè)變革，MEMS傳感器正被廣泛應(yīng)用于各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等眾多領(lǐng)域，需求量與日俱增，應(yīng)用前景十分廣闊。

　　作為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一，蚌埠擁有華東光電集成器件研究所（中國兵器工業(yè)集團(tuán)214所）、希磁科技、北方芯動聯(lián)科等一批智能傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)制造企業(yè)，組建MEMS聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室等一批省級以上重大研發(fā)工程，成立了安徽省智能傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟，組建“智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟”。

　　近年來，蚌埠依托華東光電集成器件研究所的技術(shù)優(yōu)勢和產(chǎn)業(yè)化優(yōu)勢，連續(xù)出臺扶持政策，建成了MEMS核心器件產(chǎn)業(yè)化基地，產(chǎn)品包括MEMS加速度傳感器、陀螺儀以及高溫高精度壓力傳感器等；形成了智能傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)、工藝加工、封裝測試和應(yīng)用的完整產(chǎn)業(yè)體系，成為安徽省唯一同時(shí)擁有集成電路及MEMS生產(chǎn)線的城市。

　　2021年4月23日，2021年第四屆中國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會暨企業(yè)家論壇在安徽蚌埠召開。從2017年到2019年，MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會已經(jīng)連續(xù)舉辦了三屆，2020年受新冠疫情影響大會按下了暫停鍵。

　　第四屆大會以“凝”芯“聚力、創(chuàng)”智“未來”為主題，旨在發(fā)揮蚌埠地域匯集國家高科技研究所的優(yōu)勢，引領(lǐng)中國MEMS智能傳感器和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，深入探討MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展，推動業(yè)界合作交流，共贏MEMS產(chǎn)業(yè)新機(jī)遇。

　　中國工程院院士、清華大學(xué)副校長尤政通過視頻對大會致辭，他表示以MEMS為核心的智能傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科技前沿，也是新一代信息技術(shù)的支柱之一。目前我國MEMS產(chǎn)業(yè)正走向發(fā)展快車道，擁有一批敢創(chuàng)敢干的技術(shù)專家和創(chuàng)新精英，涌現(xiàn)出一批有擔(dān)當(dāng)、有作為的明星企業(yè)，我們也清醒地認(rèn)識到目前與發(fā)達(dá)國家的差異，我國中低端傳感器自動化水平較低，高端傳感器市場大部分還依賴進(jìn)口，缺少自主創(chuàng)新的核心技術(shù)與產(chǎn)品，關(guān)鍵設(shè)備、核心原材料卡脖子問題依然嚴(yán)峻。

　　安徽省副省長、人工智能產(chǎn)業(yè)鏈鏈長張紅文在致辭中表示，MEMS是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉前沿研究領(lǐng)域，也是未來傳感器發(fā)展的主要方向，經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代到來，MEMS智能傳感器正逐步取代傳統(tǒng)產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等眾多新興領(lǐng)域，在新一代信息技術(shù)、人工智能、智能裝備等領(lǐng)域的基礎(chǔ)性支撐作用日益凸顯，已經(jīng)成為關(guān)乎國家核心競爭力和產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈安全的重要領(lǐng)域。

　　蚌埠市委書記黃曉武在致辭中表示，蚌埠將以此次大會為契機(jī)，全面加強(qiáng)政、產(chǎn)、學(xué)、研合作，大力實(shí)施256科創(chuàng)體系建設(shè)，全力構(gòu)建集成電路核心產(chǎn)業(yè)集群和完整產(chǎn)業(yè)生態(tài)，加快打造具有國際一流創(chuàng)新能力的中國傳感谷。

　　中國工程院院士、中國兵器首席科學(xué)家、中國兵器工業(yè)第二〇三研究所總工程師楊樹興，中國工程院院士、合肥工業(yè)大學(xué)楊善林，南京大學(xué)物理學(xué)院副教授王漱明，中國儀器儀表學(xué)會微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會理事長、蘇州大學(xué)機(jī)電學(xué)院院長孫立寧，中國兵工業(yè)集團(tuán)器特聘首席專家高文等到會并進(jìn)行主旨報(bào)告演講。

　　楊樹興院士在題為《MEMS慣性傳感器在彈箭領(lǐng)域的應(yīng)用》的主旨報(bào)告中以MEMS技術(shù)發(fā)展和慣性技術(shù)融合作為切入點(diǎn)，闡述了MEMS慣性傳感器在國內(nèi)外彈箭領(lǐng)域的研究背景和意義，并結(jié)合典型應(yīng)用和指標(biāo)體系需求分析，從五個(gè)方面對MEMS慣性傳感器在彈箭領(lǐng)域的應(yīng)用面臨的挑戰(zhàn)和關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行探討，并認(rèn)為隨著工藝技術(shù)的不斷進(jìn)步，性能將不斷提高，應(yīng)用領(lǐng)域也會持續(xù)拓展，大規(guī)模工程使用的性價(jià)比會越來越高，必將在彈箭類武器小型化、制導(dǎo)化、信息化、智能化的發(fā)展過程中展現(xiàn)出更大的優(yōu)勢和活力，也為未來更廣泛和更深入的應(yīng)用研究指明了發(fā)展方向。

　　楊善林院士在題為《互聯(lián)網(wǎng)與工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)》的主旨報(bào)告中表示，工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)不是簡單的“互聯(lián)網(wǎng)+工業(yè)”，以MEMS技術(shù)為主的智能傳感器是物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、智能制造、機(jī)器人等新興產(chǎn)業(yè)的核心關(guān)鍵技術(shù)之一，也是構(gòu)建物聯(lián)網(wǎng)的重要支柱。楊善林院士強(qiáng)調(diào)，工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)引發(fā)產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈、產(chǎn)品系統(tǒng)構(gòu)造、生產(chǎn)方式、制造資源組織方式、服務(wù)模式的重大變革，對工業(yè)企業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新體系提出重要挑戰(zhàn)。工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)是工業(yè)設(shè)備與人之間，通過一組工業(yè)通信協(xié)議連接起來，借助網(wǎng)絡(luò)操作系統(tǒng)和網(wǎng)絡(luò)管理軟件等，實(shí)現(xiàn)信息傳遞與共享，從而形成的互聯(lián)網(wǎng)絡(luò)。在工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展初期，要在標(biāo)準(zhǔn)體系、情感感知、通信互聯(lián)、制造智能、人機(jī)協(xié)同、基礎(chǔ)技術(shù)等方面取得理論與技術(shù)突破，建立支撐系統(tǒng)制造模式創(chuàng)新和商業(yè)模式創(chuàng)新以及企業(yè)生態(tài)系統(tǒng)的平臺。

　　王漱明副教授在題為《超構(gòu)表面與超構(gòu)透鏡-MOEMS的新機(jī)遇》的主旨報(bào)告中分享了超構(gòu)表面與超構(gòu)透鏡國際最新研究和應(yīng)用場景，并提出了超構(gòu)透鏡與MEMS相結(jié)合的技術(shù)發(fā)展新思路，為MEMS技術(shù)擴(kuò)展應(yīng)用打開了更多的探索空間。

　　孫立寧在題為《智能感知助力智能制造產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展》的主旨報(bào)告中首先給出中國為什么要發(fā)展智能制造。作為一個(gè)制造大國，一是制造能力不強(qiáng)，還存在創(chuàng)新的空間；二是勞動力成本不斷提高，必須尋求新的制造模式。孫立寧從智能制造與智慧生活引出MEMS發(fā)展現(xiàn)狀與進(jìn)展、趨勢，并提出發(fā)展建議，他認(rèn)為微納器件與系統(tǒng)是智能制造與智慧生活的核心技術(shù)，MEMS向微型化、集成化、多功能化、數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化方向發(fā)展，機(jī)器人+微納+信息、人工智能交叉融合會改變生產(chǎn)和生活方式，微納器件與系統(tǒng)，形成巨大產(chǎn)業(yè)。加強(qiáng)基礎(chǔ)與創(chuàng)新研究，解決共性關(guān)鍵技術(shù)。建立產(chǎn)業(yè)制造平臺，機(jī)制創(chuàng)新，創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)，打造人才培養(yǎng)、多種模式創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)與產(chǎn)業(yè)化平臺，形成產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈。

　　高文在題為《高性能MEMS傳感器工藝技術(shù)及MEMS角速率積分陀螺的最新研究進(jìn)展》的主旨報(bào)告中從高性能慣性器件的特殊工藝要求開篇，闡述了214所關(guān)鍵技術(shù)突破和最新研究進(jìn)展，并對國內(nèi)外高性能器件作了性能對比，對MEMS陀螺儀的未來發(fā)展方向進(jìn)行了展望。

　　祝福蚌埠MEMS的發(fā)展更“徽”煌！